气体流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种：

体积流量的公式为q=vs，q代表气体的体积流量（m/s），v代表气体的平均流速（m/s），s代表气路管道的横截面积（㎡）。

流量则是m=ρq=ρvs，m代表气体的流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），q代表气体的体积流量（m/s）。

重量流量则是g=γq=ρgvs=gm，g代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（n/㎡），m代表气体的流量（kg/s）。

气体流量控制器工作压差范围是个什么概念?

气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用mfc时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

流量控制器能用比例阀代替吗？

不可以的，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体流量控制器（mfc）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀---满足不了mfc能起到的作用。