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使用气体流量控制器注意事项

1.怕粉尘， 若粉尘进到气体流量控制器内部会阻塞传感器和分流器， 导致数据误差， 所以建议在mfc进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到mfc， 一旦有液体进入到mfc内部会导致无法控制，所以建议在mfc进气口前端还要加装干燥装置， 假如mfc的出口接有液体罐，热式流量控制器， 也要在mfc出口再加上单向阀， 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 导致mfc通道毁坏， 因而在应用腐蚀性气体前， 要对气体和mfc管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等mfc工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，---管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作， 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。 

5.使用mfc前还需要将mfc进行通电预热，---mfc在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对mfc进行调零处理，热式流量控制器价格，否则将影响mfc的精度。

什么是气体流量控制器？

气体质量流量控制器 (mass flow controller 缩写为 mfc) 用于对气体的流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

流量控制器不仅具备流量计的作用，更主要的是，它能控制气体流量，即客户可按照需求设定流量，mfc会自动地将流量稳定在设定值上，即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变，也不会使其偏移设定值。简易地说，流量控制器可以看成是一个稳流设备，热式流量控制器， 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

气体流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了mfm的功能。将电路板中加入pid闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了mfc的功能。

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