气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，气体流量计数字控制模块厂家，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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