气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，流体数字控制模块，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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将 fscu 嵌入到应用系统中，fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器（如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，流体数字控制模块报价， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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