




1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。---时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,小型流量计,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:sus316l(00cr17ni14mo2),sus417j1(00cr30mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不---敏感,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。---是用户使用腐蚀性气体,通常应该在流量控制器进出气口各加一个截止阀,以---工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%f.s以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%,小型流量计价格, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员---申明。

通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高,小型流量计厂家, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明, mfc都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。


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