气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，控制器公司，如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥，控制器价格，切忌粉尘、液体和油污。---时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为：sus316l(00cr17ni14mo2)，sus417j1（00cr30mo2），控制器厂家， 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不---敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
流量控制器的电磁阀是调节阀， 不是截止阀， 不能当截止阀使用， 用户应另配截止阀。---是用户使用腐蚀性气体，控制器，通常应该在流量控制器进出气口各加一个截止阀，以---工作安全。长期工作后， 如果控制器阀口的漏气率在2%f.s以内， 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%， 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员---申明。
流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种：
体积流量的公式为q=vs，q代表气体的体积流量（m/s），v代表气体的平均流速（m/s），s代表气路管道的横截面积（㎡）。
流量则是m=ρq=ρvs，m代表气体的流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），q代表气体的体积流量（m/s）。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm，g代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（n/㎡），m代表气体的流量（kg/s）。
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