




动态配气仪是利用连续稀释法将已知浓度的原料气,以较小的流量,恒定不变地送入气体混气模块中,再通过混气模块,气路柜厂家,同时将净化过的背景气体(通常使用高纯n2或air)以较大的流量恒定不变地与原料气混合稀释。稀释后的混合气连续不断地从混气模块流出供使用的配气设备。
准确计量原料气流和背景气流之比可得稀释倍数。混合气的浓度可简单地从稀释倍数计算出来,调节气流比可以得到所需浓度的标准气体。
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配气仪原理
利用单片机控制流量计的流量,从而实现不同气体的配比。此种原理的配气仪比较典型的是计量院研发的mf-4型自动配气系统.
特点
流量计原理的配气仪主要特点是配气精度高(小于0.5%),但价格较贵。对于不同种类的气体,需要采用不同的配气仪。只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体。
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本装置是一个组份气体通过稳压系统稳压,通过调节阀调节,流量计计量加入另一个组份气体中,获得稳定的具有一定比例的混合气。在按需调准。
设备具有压力报警装置.气体压力低于工作压力时,气路柜,报警装置报警,提醒操作员更换气瓶或处理问题.
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