




部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明,气体流量控制模块公司, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc,气体流量控制模块报价, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
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流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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在工作时,铂丝检测元件用直流电流加热,温度大概比液体温度高出20°c左右,流量计的流体流经发生体时,在发生体两侧产生交变的压力差,气体流量控制模块,在此压力差的作用下,气体流量控制模块,流体产生吸入、吹出作用,导致热丝温度降低,引起它的电阻减小,从而破坏测量电桥平衡,输出电压信号。
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