




气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,流量计,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa,流量计公司, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,流量范围外准确度和接头形式也很重要,常见的接头形式有卡套接头和vcr接头,接口尺寸有公制φ3、φ6、φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。

流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,流量计,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。

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