




这一点关系到用户的切身利益,涉及的问题也比较多,因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的量程
a. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(流量)。
b. 根据厂家提供的流量转换系数表,将您所用气体的流量值换算成与氮气(标定气体)等价的流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。
c. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,流体数字控制模块,则测量值的相对误差较大。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中,流体数字控制模块报价, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压,流体数字控制模块, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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