




通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明, mfc都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。


不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,智能控制器公司,虽然可以起到一定的流量调节作用,但无法做到准确,稳定的流量控制,而气体流量控制器(mfc)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,智能控制器报价,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,比例阀---满足不了mfc能起到的作用。

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