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    2024-2-2

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什么是气体流量控制器


气体质量流量控制器 (mass flow controller 缩写为 mfc) 用于对气体的流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

流量控制器不仅具备流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,热式流量控制器,即客户可按照需求设定流量,mfc会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,热式流量控制器报价,也不会使其偏移设定值。简易地说,流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。




气体流量控制器应用领域

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。




气体流量控制器的主要优点是什么?

(1) 流量的测量和---不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲,难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计,工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差;针对流量计 / 流量控制器,则一般可以忽略。 

(2) 测量---的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲,还能够完成流量的自动控制系统。通常, 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma,热式流量控制器多少钱, 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口, 能十分便捷地与电脑联接, 开展自动控制系统。

 (3) 定量---流量 流量控制器可以控制汽体的给定量,这对许多加工工艺全过程的流量---﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。

 (4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴,可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体(包含一些腐蚀汽体,如hcl)




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