流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源， 设定电位器， 和三位阀控开关等。
流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种：
体积流量的公式为q=vs，q代表气体的体积流量（m/s），v代表气体的平均流速（m/s），s代表气路管道的横截面积（㎡）。
流量则是m=ρq=ρvs，m代表气体的流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），q代表气体的体积流量（m/s）。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm，g代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（n/㎡），m代表气体的流量（kg/s）。
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