流体系统是与具体实际管网模型相对应的流动元件集合，各个流动元件都有实际的物理模型与之相对应。流体介质是流体系统中的流动物质，流体介质的状态和属性直接影响流体系统对流体介质的输运能力、热传导能力及其流体的作功能力。流体系统是由各种流动元件相互连接而成，流动元件包括流体存储元件、流体单向输运元件、流体多向输运元件。流体单向输运元件只有一个进口和一个出口，如各种管道、流体增压泵、气体压缩机等。流体多向输运元件主要用于分流和汇流，如三通接头、四通接头以及引射泵等。流体存储元件一般有流体体积或， 有一个或多个单向输运元件与之相连，其流量既可能流进，也可能流出。
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流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，流体系统控制单元价格， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误，流体系统控制单元多少钱， 造成---损失。
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对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是， 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位，流体系统控制单元， 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位（kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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