




将 fscu 嵌入到应用系统中,fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器(如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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这一点关系到用户的切身利益,涉及的问题也比较多,智能流体数字控制模块,因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的量程
a. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(流量)。
b. 根据厂家提供的流量转换系数表,将您所用气体的流量值换算成与氮气(标定气体)等价的流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。
c. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,智能流体数字控制模块,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。
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对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,智能流体数字控制模块公司,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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