




气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

流量控制器(mfc)是用来控制气体流量的,流量计(mfm)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,进口流量计,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。

一般造成流量计零点漂移的因素有许多,解决流量计零漂问题,进口流量计价格,首先要定期进行零点检查和调整,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致流量控制器/流量计的零点漂移,进口流量计多少钱,出现这种漂移时,进口流量计,要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,从而达到消除零点漂移。

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